Общероссийский классификатор стандартов → ЭЛЕКТРОТЕХНИКА → Полупроводниковые материалы
ГОСТ 26239.3-84. Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения фосфора
Настоящий стандарт устанавливает экстракционно-фотометрический метод определения фосфора в техническом кремнии, экстракционно-колориметрический метод определения фосфора в трихлорсилане и тетрахлориде кремния и двуокиси кремния (синтетическом кварце); нейтронно-активационный метод определения фосфора в полупроводниковом кремнии
Название на англ.: | Semiconductor selicon, raw materials for its production and quartz. Methods of phosphorus determination |
Тип документа: | стандарт |
Статус документа: | действующий |
Число страниц: | 17 |
Дата актуализации текста: | 01.08.2013 |
Дата актуализации описания: | 01.08.2013 |
Дата издания: | 21.01.1985 |
Дата введения в действие: | 01.01.1986 |
Дата последнего изменения: | 22.05.2013 |